[发明专利]一种控制化学液温度的装置及方法无效
| 申请号： | 201210558397.7 | 申请日： | 2012-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103049015A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 周传霞;吴仪;裴立坤;何金群;贾星杰 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种控制化学液温度的装置及方法，该装置主管路末端通过多条并行管路与工艺腔室连接，在所述每条并行管路上安装气动阀，其中，在气动阀与各相对应的工艺腔室之间的每条管路上安装加热装置，所述加热装置靠近工艺腔室。通过本发明提高了各个工艺腔室化学液温度和粘度的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 化学 温度 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种控制化学液温度的装置，主管路末端通过多条并行管路与工艺腔室连接，在所述每条并行管路上安装气动阀，其特征在于，在气动阀与各相对应的工艺腔室之间的每条管路上安装加热装置，所述加热装置靠近工艺腔室。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京七星华创电子股份有限公司，未经北京七星华创电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210558397.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：混合多元醇
- 下一篇：制备尿烷(甲基)丙烯酸酯的方法
