[发明专利]传感器器件、传感器模块、力检测装置、机器人有效
| 申请号： | 201210558596.8 | 申请日： | 2012-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103175637A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 冈秀明;神谷俊幸;河合宏纪 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;B25J13/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王轶;李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供传感器器件、传感器模块、力检测装置、机器人。传感器器件具备：封装；传感器元件，其配置于上述封装；以及盖体，其对上述封装进行密封，在上述盖体具备可挠部，在深度方向上俯视观察上述封装时，该可挠部包围上述传感器元件的周围并且具有可挠性。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 器件 模块 检测 装置 机器人 | ||
【主权项】：
一种传感器器件，其特征在于，具备：第一部件，其具有凹部；传感器元件，其配置于所述凹部，并具有压电体；以及第二部件，其与所述第一部件接合，并对所述第一部件的所述凹部进行密封，所述传感器元件具有与所述第二部件接触的接触面，所述第二部件具有：第一面区域，该第一面区域与所述传感器元件的所述接触面接触；和第二面区域，该第二面区域与所述第一部件接合，在所述第一面区域与所述第二面区域之间具备可挠部，该可挠部具有可挠性。
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