[发明专利]半导体生产系统无效
| 申请号： | 201210559043.4 | 申请日： | 2012-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103076772A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 苏育家 | 申请（专利权）人： | 光达光电设备科技（嘉兴）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 314300 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种半导体生产系统，所述半导体生产系统包括生产设备和生产设备控制系统，所述生产设备控制系统用于控制所述生产设备进行半导体生产工艺，所述生产设备控制系统进一步包括无线通信模块，所述无线通信模块用于与移动终端设备通信。本发明的半导体生产系统能够方便工艺人员了解半导体生产系统的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 生产 系统 | ||
【主权项】：
一种半导体生产系统，其包括生产设备和生产设备控制系统，所述生产设备控制系统用于控制所述生产设备进行半导体生产工艺，其特征在于：所述生产设备控制系统进一步包括无线通信模块，所述无线通信模块用于与移动终端设备通信。
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