[发明专利]用于在抛光工艺期间再循环泥浆材料的系统

摘要

本发明提供了用于在抛光工艺期间再循环泥浆材料的系统。一种系统包括抛光器和再循环组件，其中抛光器具有入口和排水出口以及泥浆存储罐，泥浆存储罐将包括预选材料的泥浆供给到抛光器的入口，再循环组件包括错流过滤器、密度计、阀门和控制器，其中错流过滤器包括从抛光器的排水出口接收含有预选材料的废料泥浆的入口，其中错流过滤器经配置从而浓缩出口泥浆中的预选材料，密度计经配置从而测量过滤器出口泥浆中的预选材料的浓度，阀门被联接到过滤器出口，并且经配置从而供给泥浆存储罐，并且控制器被联接到密度计和阀门，其中控制器经配置从而当预选材料的浓度达到第一浓度阈值时打开阀门。

主权项

一种用于再循环来自抛光组件的预选的泥浆材料的系统，所述系统包含：所述抛光组件，其包含：抛光器，其具有入口和排水出口；和泥浆存储罐，其经配置从而将包含预选材料的泥浆供给到所述抛光器的所述入口；和再循环组件，其包含：错流过滤器，其包含入口，所述入口经配置从而从所述抛光器的所述排水出口接收包含所述预选材料的废料泥浆，其中所述错流过滤器经配置从而浓缩在所述错流过滤器的出口提供的泥浆中的所述预选材料；密度计，其经配置从而测量所述错流过滤器的出口泥浆中所述预选材料的浓度；阀门，其被联接到所述错流过滤器的出口，并且经配置从而供给所述泥浆存储罐；和控制器，其被联接到所述密度计和所述阀门，其中所述控制器经配置从而当所述预选材料的浓度达到第一预选浓度阈值时打开所述阀门。