[发明专利]多晶硅型太阳能电池板及其制造方法

摘要

本发明提供多晶硅型太阳能电池板，通过用少工序且短时间形成形成有pn结的多晶硅膜，降低成本。具体而言，提供多晶硅型太阳能电池板的制造方法，该方法具有：使用由掺杂为n型或p型的硅构成的蒸镀材料，通过蒸镀在基板表面形成非晶硅膜的工序；对所述非晶硅膜的表层，用p型或n型掺杂剂进行等离子体掺杂的工序；以及在所述等离子体掺杂后的非晶硅膜上扫描等离子体，使非晶硅膜熔融且再晶化的工序。

主权项

多晶硅型太阳能电池板的制造方法，其具有：使用由掺杂为n型的硅构成的蒸镀材料，通过蒸镀法在基板表面形成非晶硅膜的工序；对所述非晶硅膜的表层，用p型掺杂剂进行等离子体掺杂的工序；以及在所述等离子体掺杂后的非晶硅膜上扫描等离子体，使非晶硅膜熔融且多晶化的工序。