[发明专利]抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 201210561307.X | 申请日： | 2012-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN102981363A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 袁三平 | 申请（专利权）人： | 青岛森淼实业有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人： | 钟廷良 |
| 地址： | 266061 山东省青岛市崂*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种抗蚀剂组合物，其特征在于：由以下重量份的组分组成，碱溶性丙烯酰基共聚物10-20份、萘醌二叠氮基酯化物5-10份、三聚氰胺衍生物2-5份、聚乙烯基苯酚型聚合物2-5份、碱溶性酚醛清漆树脂35-40份、烷基烷氧基硅烷2-8份、烷基锗烷3-7份、二氧化硅2-6份、氧化铝1-5份、二氧化钛2-5份、氧化锆4-7份、氧化锡2-4份、氧化锌3-7份、无水乙醇10-15份。本发明的抗蚀剂组合物感光速度、残膜率和耐热性优异。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
一种抗蚀剂组合物，其特征在于：由以下重量份的组分组成，碱溶性丙烯酰基共聚物10‑20份、萘醌二叠氮基酯化物5‑10份、三聚氰胺衍生物2‑5份、聚乙烯基苯酚型聚合物2‑5份、碱溶性酚醛清漆树脂35‑40份、烷基烷氧基硅烷2‑8份、烷基锗烷3‑7份、二氧化硅2‑6份、氧化铝1‑5份、二氧化钛2‑5份、氧化锆4‑7份、氧化锡2‑4份、氧化锌3‑7份、无水乙醇10‑15份。
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