[发明专利]一种CVD在线镀功能膜废气干法净化装置

摘要

本发明涉及一种CVD在线镀功能膜废气干法净化装置，包括：气源管道H，在气源管道H的前端依次设有燃烧室（2）和超高温静电除尘器（4），在管道的末端设有活性炭纤维净化器（8），其特征在于还包括：在管道上还设置了干式脱酸装置（5）和布袋除尘器（7）。本发明的优点：本发明提供的装置采用干法净化法，消除了现有湿法净化装置产生水污染的隐患，降低了运行成本，提高了设备的使用寿命；本装置应用前景广泛，对于成分复杂，温度较高有腐蚀性的废气，无论可燃或者不可燃，都能进行充分高效的净化处理；本装置能同时处理高温、酸性、含尘及含重金属等镀膜废气，且净化效率高，能达到99.99%以上的净化效率。

主权项

一种CVD在线镀功能膜废气干法净化装置，包括气源管道H，在气源管道H上连接变频废气风机（1），气源管道H连接燃烧室（2），在燃烧室（2）上设有燃烧器（3），燃烧室（2）通过管道连接超高温静电除尘器（4），超高温静电除尘器（4）通过管道连接活性炭纤维净化器（8），活性炭纤维净化器（8）通过管道连接引风机（9），其特征在于还包括：a、在超高温静电除尘器（4）与活性炭纤维净化器（8）之间的管道上还依次设置了干式脱酸装置（5）和布袋除尘器（7），干式脱酸器（5）的侧端口D通过管道连接布袋除尘器（7）的端口E，干式脱酸装置（5）的下端口A通过管道与超高温静电除尘器（4）的端口B相连接，干式脱酸器（5）的顶部端口C通过管道N与供碱仓（11）相连接，在干式脱酸器（5）的下方通过管道M连接回收仓（12）；b、布袋除尘器（7）的端口F通过管道连接活性炭纤维净化器（8），布袋除尘器（7）的下端设有出料口G。