[发明专利]自冷式激光扫描振镜及抑制其温度漂移的方法

摘要

本发明公开了一种自冷式激光扫描振镜及抑制其温度漂移的方法，涉及激光加工设备技术领域，振镜包括由导热性好的材料制成的安装基体，安装基体内安装有工作部件，工作部件包括X振镜驱动板、X振镜、Y振镜驱动板和Y振镜，还包括用于抑制自冷式激光扫描振镜产生温度漂移的抑制装置，抑制装置包括：安装于安装基体外侧的TEC制冷片；安装于安装基体上用于检测安装基体的温度的温度传感器；根据温度传感器检测到的温度值控制TEC制冷片工作将安装基体的温度控制在一恒定的目标温度值的温控装置。本发明解决了现有技术中自冷式激光扫描振镜位置精度低的技术问题。本发明具有位置精度高，体积小巧，价格低廉等优点，可适用于位置精度要求高的场合。

主权项

自冷式激光扫描振镜，包括由导热性好的材料制成的安装基体，所述安装基体内安装有工作部件，所述工作部件包括X振镜驱动板、X振镜、Y振镜驱动板和Y振镜，其特征在于，还包括用于抑制所述自冷式激光扫描振镜产生温度漂移的抑制装置，所述抑制装置包括：安装于所述安装基体外侧的TEC制冷片；安装于所述安装基体上用于检测安装基体的温度的温度传感器；用于控制所述安装基体温度恒定的温控装置，所述温度传感器和所述TEC制冷片分别电连接所述温控装置。