[发明专利]一种晶体生长炉中籽晶与坩埚对中的调试方法及装置无效
| 申请号： | 201210563134.5 | 申请日： | 2012-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN103882529A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 黎建明;李楠;刘春雷 | 申请（专利权）人： | 有研光电新材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 065001 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 一种晶体生长炉中籽晶与坩埚对中的调试方法及装置，调试方法是通过安装在籽晶杆轴心位置的激光笔发光，从安放于坩埚口上沿并带有标尺的圆盘直接读出籽晶与坩埚轴心的偏差值，随后根据偏查值调整坩锅的位置。装置包括：夹头、激光笔及带有标尺的圆盘，在籽晶杆上固定带有激光笔的夹头，其激光笔的轴心与籽晶杆的轴心重合；带有标尺的圆盘安装在坩埚口上沿，圆盘外圆尺寸同坩埚外圆保持一致。本发明的优点是：通过本发明的方案可以解决籽晶杆与坩埚对中不方便的问题，同时不需要测量铅锤尖部与坩埚内壁之间的距离，且装置简便，适用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体生长 籽晶 坩埚 中的 调试 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种晶体生长炉中籽晶与坩埚对中的调试方法，其特征在于：它是通过安装在籽晶杆轴心位置的激光笔发光，从安放于坩埚口上沿并带有标尺的圆盘直接读出籽晶与坩埚轴心的偏差值，随后根据偏查值调整坩锅的位置。
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