[发明专利]一种热铟封封接装置

摘要

本发明涉及一种热铟封封接装置，包括铟封室，铟封室内的上方设置有上封接件放置装置，下方设置有载物平台，上封接件放置装置用于放置上封接件，载物平台用于放置下封接件，还包括下封接件的升降调节组件及磁力转动部件，通过升降调节组件和磁力转动部件使上封接件的封接面与下封接件的铟封槽完全接触，在一定程度上破坏了铟锡合金表面的氧化层，克服了铟表面氧化、不平整及气泡引起的封接漏气，提高了成品率。

主权项

一种热铟封封接装置，包括铟封室(A)，所述铟封室内为真空状态，所述铟封室内的上方设置有上封接件放置装置(B)，下方设置有载物平台(3)，所述上封接件放置装置(B)用于放置上封接件，所述载物平台(3)用于放置下封接件，其特征在于：还包括载物平台的升降调节组件，所述升降调节组件包括安装法兰(4)、升降法兰盘(8)、从动升降机构(9)及至少两个对称设置在从动升降机构(9)周围的主动升降机构(6)，所述安装法兰(4)与铟封室底部的铟封室法兰(F)固定连接，所述升降法兰盘(8)位于安装法兰(4)下方且与安装法兰(4)平行，所述主动升降机构(6)包括轴承定位块(61)、升降螺杆(63)、螺杆导向套(64)、手轮(65)、轴承(62)，所述轴承定位块(61)与安装法兰(4)下底面固定连接，所述螺杆导向套(64)与升降法兰盘(8)连接，所述升降螺杆(63)的下端与升降手轮(65)固定连接，所述升降螺杆(63)的上端穿过螺杆导向套(64)伸入升降轴承定位块(61)，所述升降螺杆(63)与螺杆导向套(64)螺纹连接，所述轴承(62)设置在升降螺杆(63)的上端部与轴承定位块(61)之间，所述从动升降机构(9)包括波纹管(5)、磁力转动杆(91)、限位管(96)、磁力转动部件，所述波纹管(5)密封连接在安装法兰(4)和升降法兰盘(8)之间，所述限位管(96)的上端与升降法兰盘(8)固定连接，所述限位管(96)的下端设置有密封堵头，所述磁力转动杆(91)的下端抵在密封堵头上，其上部依次穿过限位管(96)、升降法兰盘(8)、波纹管(5)、安装法兰(4)后与载物平台(3)固定连接；所述磁力转动部件包括套装在限位管(96)外的磁力转动手柄(10)、位于限位管(96)内且均匀设置在磁力转动杆(91)上与磁力转动杆连为一体的多个转动块(98)，所述相邻两个转动块(98)之间放置有磁铁(94)，所述磁力转动手柄(10)由磁铁块和金属块间隔组成。