[发明专利]光纤放大器动态增益斜率均衡器及其制备工艺

摘要

本发明揭示了一种光纤放大器动态增益斜率均衡器及其制备工艺，所述均衡器包括通过光学封装的MEMS光学微镜驱动器芯片和双光纤准直器；MEMS光学微镜驱动器芯片包括第一光学微反射镜、第二光学微反射镜、微位移调节单元；微位移调节单元用以控制第一光学微反射镜或/和第二光学微反射镜的水平方向或/和垂直方向的微位移运动，实现MZI分束比和干涉臂相位调谐，动态控制输入WDM光信号的光谱斜率。本发明提出的动态增益斜率均衡器采用MEMS工艺制作，具有插入损耗低、均衡范围宽、体积小、调谐速度快、驱动功率微小等优点，可直接集成到EDFA中实现动态增益斜率均衡，还能应用于解决传输光纤、光纤色散补偿模块、光纤SRS效应等造成的DWDM通道间信号功率不均衡问题。

主权项

一种光纤放大器动态增益斜率均衡器，其特征在于，所述均衡器包括MEMS光学微镜驱动器芯片和双光纤准直器；所述MEMS光学微镜驱动器芯片和双光纤准直器通过光学封装，构成微型Mach‑Zehnder干涉仪MZI；所述MEMS光学微镜驱动器芯片包括第一光学微反射镜、第二光学微反射镜、微位移调节单元；所述微位移调节单元用以控制第一光学微反射镜或/和第二光学微反射镜的水平方向或/和垂直方向的微位移运动，实现MZI分束比和干涉臂相位调谐，动态控制输入WDM光信号的光谱斜率；所述微位移调节单元包括静电梳齿驱动器、静电平板驱动器；所述静电梳齿驱动器位于硅框架的两侧，并通过一组硅弹性梁悬挂于所述MEMS光学微镜驱动器芯片衬底之上，并与所述MEMS光学微镜驱动器芯片衬底连接；所述静电梳齿驱动器用以控制第一光学微反射镜水平方向上的微位移运动，实现MZI分束比调谐；所述静电平板驱动器包括第一电极板、第二电极板；第一电极板上设置第一光学微反射镜，第一电极板通过另一组硅弹性梁与硅框架相连，第二电极板为所述MEMS光学微镜驱动器芯片的衬底，两电极板之间有一空气隙；所述静电平板驱动器用以控制第一光学微反射镜垂直方向上的微位移运动，实现MZI干涉臂相位调谐。