[发明专利]一种太阳能光热转换集热器透明热镜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种太阳能光热转换集热器透明热镜及其制备方法，该透明热镜包括GLASS/D1/ITO/D2或Porous‑SiO2/GLASS/D1/ITO/D2/Porous‑SiO2或GLASS/ITO/D2/D1膜系结构。本发明中ITO膜不仅仅是红外热反射功能层，而且将其与高低折射率的减反膜系从光学设计上进行搭配，使其光谱选择性优于单层透明热镜，太阳光谱（300‑2500nm）透过率比相同透明基底、相同工艺条件下制备的辐射率相同的单层TCO膜透明热镜提高10%。

主权项

1.一种太阳能光热转换集热器透明热镜，包括玻璃基板GLASS和半导体透明导电薄膜，该半导体透明导电薄膜为ITO膜，其特征在于，还包括置于ITO膜之前的介质层D1、和置于ITO膜之后的介质层D2；所述介质层D1厚度5nm-300nm，材料是以下两种之一：第一种材料：所述介质层D1是单层介质薄膜，折射率ND1介于ITO膜材料折射率NITO和玻璃基板折射率Nglass之间，即Nglass＜ND1＜NITO；其中介质层D1为Al2O3，或折射率在1.5-2.0之间的其它氧化物Y2O3；介质层D1与玻璃基板之间的结合及制备方法为化学反应或非化学反应磁控溅射；第二种材料：所述介质层D1是“高折射率/低折射率”n减反膜系，n为交替次数；其中：高折射率材料为折射率N＝2.4的TiO2或N＝2.0的ITO，或折射率在2.0-3.0之间的氧化物Bi2O3、CeO2、Nb2O5、T2O5，或在In2O3、SnO2、ZnO中的一种中掺入Sn、Al、Ga、B、In、Zr、Ce、Sc中的一种或多种元素形成的掺杂透明导电氧化物薄膜；高折射率材料一面与玻璃基板结合，结合及制备方式为化学反应或非化学反应磁控溅射；低折射率材料为SiO2；高折射率材料和低折射率材料交替，n的取值范围为1-3；所述介质层D2材料的折射率ND2＜NITO；所述介质层D2材料为SiO2；介质层D2与ITO膜之间的结合为化学反应或非化学反应磁控溅射；介质层D2厚度5nm-1μm。