[发明专利]一种提升单晶硅生长速度的导流筒在审

专利信息
申请号: 201210564957.X 申请日: 2012-12-24
公开(公告)号: CN103882510A 公开(公告)日: 2014-06-25
发明(设计)人: 刘代军;黄华 申请(专利权)人: 九州方园新能源股份有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 宜昌市三峡专利事务所 42103 代理人: 成钢
地址: 443300 湖北省*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 一种提升单晶硅生长速度的导流筒,包括内导流筒、外导流筒,内导流筒与外导流筒之间设有隔热碳毡,所述内导流筒的外侧、外导流筒的内侧铺设有热辐射反射层。所述内导流筒的外侧、外导流筒的内侧构成一密封的腔体,隔热碳毡位于密封的腔体内。本发明一种提升单晶硅生长速度的导流筒,将硅棒和加热器辐射到导流筒上的热量均能及时传递走,加速了晶棒的冷却,实现拉晶速度的显著提高。提升生产效率的同时,降低能耗。另外,热辐射反射层由内、外导流筒将其封闭,杜绝了杂质对拉晶的影响。
搜索关键词: 一种 提升 单晶硅 生长 速度 导流
【主权项】:
一种提升单晶硅生长速度的导流筒,包括内导流筒(1)、外导流筒(2),内导流筒(1)与外导流筒(2)之间设有隔热碳毡(4),其特征在于,所述内导流筒(1)的外侧、外导流筒(2)的内侧铺设有热辐射反射层(3)。
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