[发明专利]钛合金表面TiSiN纳米复合涂层的制备方法

摘要

本发明钛合金表面TiSiN纳米复合涂层的制备方法，属于涂层材料制备技术领域，特别是涉及一种TiSiN纳米晶超硬涂层的制备方法；所要解决的技术问题为提供一种通过添加Si元素改善熔覆层耐磨性能的钛合金表面TiSiN纳米复合涂层的制备方法；为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：钛合金表面TiSiN纳米复合涂层的制备方法，主要包括以下步骤：第一步，将钛合金试样放入激光表面处理装置的密封箱中，第二步，将密封箱抽真空后通入氮气并保持纯氮气氛围，第三步，通入SiH4气体，在高能束激光作用下形成TiSiN纳米复合超硬涂层；按本发明所述方法制备的涂层具有硬度高、与基体的结合强度高、均匀性好等优点。

主权项

钛合金表面TiSiN纳米复合涂层的制备方法，其特征在于：主要包括以下步骤：第一步，将钛合金试样放入激光表面处理装置的密封箱中；第二步，通过所述密封箱上与真空发生装置相连的出气口将密封箱抽真空，通过密封箱上与氮气源相连的进气口向与密封箱相连的保护气通道通入氮气，使保护气通道与密封箱中保持纯氮气氛围；第三步，开启与保护气通道相连的激光器，激光器发射的激光束经由保护气通道进入密封箱中并且匀速扫过钛合金试样表面，Ti与真空中的氮反应生成TiN，同时，开启密封箱上与SiH4气源相连的进气口向密封箱内通入SiH4气体，在高能束激光作用下，Si离子与真空中的氮反应生成Si3N4，最终TiN和Si3N4同时生长于基体钛合金上，形成TiSiN纳米复合超硬涂层。