[发明专利]改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及设备

摘要

本发明一种废气淋洗处理工艺及装置，特别涉及采用改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及装置，用以处理多种氯硅烷或氯化氢有害气体。属生产多晶硅产生的废弃物处理领域。该发明是在实验的基础上对多晶硅生产所产生废弃物进行的淋洗处理，通过控制淋洗所产生的废渣形态，利用专门的处理装置，设计出了处理能力大、残渣分离能力强和采用机械捞渣的废气处理装置。工艺采用10-15%NaOH碱液淋洗处理，通过碱液对废弃物进行淋洗，除去废弃物中的有害成分氯硅烷/氯化氢；产生的废渣通过全自动上下一体行车式往返刮板机刮入搅拌池，随后送入新型箱式压滤机进行固液分离，分离得到的干渣送渣场堆存，滤液回到淋洗塔循环池重复利用，净化后的尾气达到国家排放标准后排放。

主权项

一种改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及装置，其特征在于采用NaOH碱液为淋洗液对废气在淋洗塔塔体（18）内进行淋洗处理，去除从采用改良西门子法生产多晶硅工艺中排出废气中的氯硅烷或氯化氢有害成分，净化处理后的废气经过安全液封罐（22），废气达到国家排放标准后排放；净化处理后的废水落入每个淋洗塔（1）的淋洗液收集沟（2）中，淋洗液收集沟（2）收集的废水再集积到分流沟（15）中最后以自流方式流入渣水收集池（14），每个渣水收集池（14）上装有一台全自动上下一体行车式往返刮板机（4），渣水收集池（14）内通过全自动上下一体行车式往返刮板机（4）将废渣刮入或收集到搅拌池（8），随后搅拌池（8）内的废渣再输送到箱式压滤机进行固液分离，分离得到的固定干渣送渣场堆存，滤液回流到循环水池（11），供淋洗塔（1）再次使用。