[发明专利]一种单晶炉

摘要

本发明提供了一种单晶炉，包括炉体，位于炉体底部的护盘压片；位于护盘压片上的第一辅助电极通孔下方的第一辅助电极，位于护盘压片上的第二辅助电极通孔下方的第二辅助电极；设置在护盘压片表面的检测线，其两端分别于第一辅助电极和第二辅助电极连接，且其与护盘压片绝缘；检测电路，包括检测线支路，其包括连接第一辅助电极的第一连接端和连接第二辅助电极的第二连接端；报警支路，其在检测线断路时发出报警信号。本发明所提供的单晶炉，在护盘压片上设置检测线，使检测线的两端连接检测电路，当硅液流到护盘压片上使检测线熔断时，检测电路发出报警信号，实现了对硅液溢流事故的及时检测，提高了生产的安全性。

主权项

一种单晶炉，其特征在于，包括：炉体，位于所述炉体底部的护盘压片；位于所述护盘压片上的第一辅助电极通孔和第二辅助电极通孔，位于所述第一辅助电极通孔下方的第一辅助电极，位于所述第二辅助电极通孔下方的第二辅助电极；设置在所述护盘压片表面的检测线，所述检测线的一端通过所述第一辅助电极通孔与所述第一辅助电极连接，所述检测线的另一端通过所述第二辅助电极通孔与所述第二辅助电极连接，且所述检测线与所述护盘压片绝缘；位于所述炉体外的检测电路，所述检测电路包括：检测线支路，所述检测线支路包括第一连接端和第二连接端，所述第一连接端连接所述第一辅助电极，所述第二连接端连接所述第二辅助电极；与所述检测线支路并联的报警支路，所述报警支路在所述检测线断路时发出报警信号。