[发明专利]闭环控制式加速度计无效
| 申请号： | 201210569339.4 | 申请日： | 2012-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN103033647A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 林丙涛;赵建华;林日乐;张巧云;董宏奎;翁邦英;徐洲;李文蕴;谢佳维;满欣;周倩 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 赵荣之 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种闭环控制式加速度计，包括石英振梁加速度敏感元件和致动器；所述石英振梁加速度敏感元件的质量块与致动器之间相对表面上设置有致动电极对，所述致动电极对，用于通过调整施加在致动电极对之间的电压来改变质量块的位置。致动器包括夹持梁，板状块，及连接夹持梁和板状块的支撑梁，被覆于板状块上产生致动作用力的致动电极。有加速度输入时，质量块偏离平衡位置，并引起振梁振动频率发生变化，通过检测该变化并调整相应致动电极对之间的电压，使得质量块重新回到平衡位置，实现了加速度计的闭环控制，在保持加速度计检测精度的同时提高了量程和线性度。克服为了提高石英振梁加速度计灵敏度而导致线性度和量程降低的缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 闭环控制 加速度计 | ||
【主权项】：
闭环控制式加速度计，其特征在于：包括石英振梁加速度敏感元件和致动器；所述石英振梁加速度敏感元件的质量块与致动器之间相对表面上设置有致动电极对，所述致动电极对，用于通过调整施加在致动电极对之间的电压来改变质量块的位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第二十六研究所，未经中国电子科技集团公司第二十六研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210569339.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
