[发明专利]一种渐变性能铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201210570984.8 | 申请日： | 2012-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN103031522A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 叶飞;曹善鹏 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/08 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 赵淑梅;李馨 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种渐变性能铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法，属于薄膜制备领域。一种性能渐变薄膜的制备方法，为镀膜法，所述方法所用基片台为基片承载面与底面具有设定倾斜角度的基片台，所述设定倾斜角度为0°~75°中的任一角度。该方法通过配置一系列不同倾斜角度的基片台，利用因基片台高度差异造成的阴影效应来实现生长具有性能渐变的薄膜，操作简单，工作效率高，可实现大规模的生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 渐变 性能 掺杂 氧化锌 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种渐变性能铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于：所述方法为电子束蒸镀法，所述电子束蒸镀法所用基片台为基片承载面与底面具有设定倾斜角度的基片台，所述设定倾斜角度为0°~75°中的任一角度；靶材致密度为59~70%、靶基距为25~35cm、电子束流为25~35mA、工作气压为0.1~0.2Pa。
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