[发明专利]MEMS加速度传感器在审
| 申请号： | 201210572723.X | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103185809A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 亚历桑德鲁·罗基;阿道夫·詹巴斯蒂亚尼 | 申请（专利权）人： | 马克西姆综合产品公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 蔡胜利 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS加速度传感器，具有基底（7）以及在X-Y平面内平行于所述基底（7）安置的传感器模块（2）。传感器模块（2）绕旋转轴线（6）能够旋转地连接至基底（7）并且包括多个孔（9）。传感器模块（2）的重量在旋转轴线（6）的两侧上不同。传感器具有用于检测传感器模块（2）绕旋转轴线（6）的旋转运动的传感器元件（8）。为了改变传感器模块（2）在旋转轴线（6）一侧相对于旋转轴线（6）另一侧的重量，传感器模块（2）的物料在一些孔（9）的区域内被部分地去除以便降低传感器模块（2）的重量，和/或沿Z方向尤其是孔（9）的延伸部添加传感器模块（2）的物料以便增加传感器模块（2）的重量。 | ||
| 搜索关键词： | mems 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种MEMS加速度传感器，所述MEMS加速度传感器具有基底（7）以及在X‑Y平面内平行于所述基底（7）安置的传感器模块（2），所述传感器模块（2）绕旋转轴线（6）能够旋转地连接至所述基底（7），所述传感器模块（2）包括多个孔（9），并且所述传感器模块（2）的重量在所述旋转轴线（6）的两侧不同，并且所述MEMS加速度传感器还具有传感器元件（8），所述传感器元件用于检测所述传感器模块（2）绕所述旋转轴线（6）的旋转运动，其特征在于，为了改变所述传感器模块（2）在所述旋转轴线（6）一侧上相对于所述旋转轴线（6）另一侧上的重量，所述传感器模块（2）的材料在一些孔（9）所在的区域内被部分地去除，以便降低所述传感器模块（2）的重量，和/或所述传感器模块（2）的材料沿Z方向、尤其沿所述孔（9）的延伸方向被增加，以便增加所述传感器模块（2）的重量。
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