[发明专利]球端面锥形透镜的面形测量方法无效
| 申请号： | 201210572914.6 | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103063158A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 张善华;袁乔;曾爱军;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种球端面锥形透镜的面形测量方法，该方法包括以下步骤：制作匹配的凹面锥形反射镜，制作匹配的补偿镜，在移相干涉仪输出的平行光束方向依次置入平面标准镜、所述的补偿镜、待测球端面锥形透镜和所述的凹面锥形反射镜，调整光路：利用所述的移相干涉仪检测所述的干涉条纹，得到待测球端面锥形透镜的面形。本发明具有操作简单，对锥角没有限制，易于测量等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 端面 锥形 透镜 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种球端面锥形透镜的面形测量方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：①根据待测球端面锥形透镜（4）的锥面制作与之匹配的凹面锥形反射镜（5）：该凹面锥形反射镜（5）的锥角![]()
式中β＝arcsin(n1sinθ)-θ表示待测球端面锥形透镜（4）的锥面对光束的折射角，其中n1，θ分别为待测球端面锥形透镜（4）的折射率和锥角；②根据待测球端面锥形透镜（4）的球端面制作与之匹配的补偿镜（3）；该补偿镜（3）使得平行光通过该补偿镜（3）和球端面锥形透镜（4）的球端面后仍为平行光；③在移相干涉仪（1）输出的平行光束方向依次置入平面标准镜（2）、所述的补偿镜（3）、待测球端面锥形透镜（4）和所述的凹面锥形反射镜（5），所述的待测球端面锥形透镜（4）的球端面朝向移相干涉仪（1）的出光方向，所述的凹面锥形反射镜（5）的凹面朝向移相干涉仪（1）的出光方向；④调整光路：调整所述的平面标准镜（2）的平行平面与所述的平行光束垂直；调整所述的补偿镜（3）的中轴与移相干涉仪（1）出射光束的中轴重合；调整所述的待测球端面锥形透镜（4）的中轴与所述的补偿镜（3）的中轴重合；调整所述的凹面锥形反射镜（5），使所述的凹面锥形反射镜（5）的中轴与待测球端面锥形透镜（4）的中轴重合；⑤所述的移相干涉仪（1）出射的光束透过所述的平面标准镜（2）形成平行的测量光束，该测量光束经所述的平面标准镜（2）返回的光束称为参考光束；所述的测量光束经过所述的补偿镜（3）入射到所述的待测球端面锥形透镜（4）的球端面后成为平行光，球端面锥形透镜（4）的出射光束入射到所述的凹面锥形反射镜（5）上，反射后沿原路返回并与平面标准镜（2）返回的参考光束产生干涉；⑥调整待测球端面锥形透镜（4）和凹面锥形反射镜（5）之间的距离获得清晰的干涉条纹，利用所述的移相干涉仪（1）检测所述的干涉条纹，得到待测球端面锥形透镜（4）的面形。
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