[发明专利]一种锥度可控的激光微孔加工光束扫描装置及其控制方法有效

专利信息
申请号: 201210573983.9 申请日: 2012-12-26
公开(公告)号: CN103056519A 公开(公告)日: 2013-04-24
发明(设计)人: 李朋;杨小君;李明;赵华龙;赵卫 申请(专利权)人: 中科中涵激光设备(福建)股份有限公司
主分类号: B23K26/08 分类号: B23K26/08;B23K26/38
代理公司: 西安西交通盛知识产权代理有限责任公司 61217 代理人: 陈翠兰
地址: 351117 福建省莆田*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 一种锥度可控的激光微孔加工光束扫描装置,包括一台激光器和一个待加工样件,在所述激光器出射面上设有一个扩束器,在所述扩束器出射面上设有一个45°反射镜,在45°反射镜下方依次垂直分布有一个非平行双光楔组和一个小角度光楔,小角度光楔下方依次垂直分布有一个聚焦镜和一个待加工样件。激光束经扩束器扩束准直后入射至45°反射镜,经45°反射镜反射激光束垂直入射至下方非平行光楔组,光束经非平行光楔组产生一定平移和偏折,偏折光束再经小角度光楔折射至聚焦镜上,最后聚焦镜聚焦光束在待加工样件上。本发明比振镜扫描微孔加工扫描装置精度高,而且比四光楔光楔数少了一个,不但安装更方便,同时也少了一个驱动电机和楔镜,控制更简单,激光能量的损耗减少,成本也大大降低。
搜索关键词: 一种 锥度 可控 激光 微孔 加工 光束 扫描 装置 及其 控制 方法
【主权项】:
一种锥度可控的激光微孔加工光束扫描装置,包括:激光器(1)、45°反射镜(3)、第一大楔角光楔(4)、第二大楔角光楔(5)、小楔角光楔(6)、聚焦镜(7)、待加工样件(8),其特征在于:所述第一大楔角光楔(4)的楔角与第二大楔角光楔(5)的楔角不相等。
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