[发明专利]一种具有阶梯光栅反射镜的波导耦合器及其制备方法无效
| 申请号： | 201210574567.0 | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103033877A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 孙小菡;蒋卫锋;柏宁丰;刘旭;吴晨 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/13;G02B6/136;G02B6/24 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211189 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有阶梯光栅反射镜的波导耦合器，包括衬底、缓冲层、波导、锥形波导、光栅反射镜和光纤，光栅反射镜的反射面设有阶梯光栅，缓冲层固定连接在衬底的顶面，波导、锥形波导和光栅反射镜固定连接在缓冲层的顶面，锥形波导的高度等于波导的高度，锥形波导的一端为窄端，锥形波导的另一端为宽端，且锥形波导的窄端与波导的输入端固定连接，锥形波导的宽端与光栅反射镜的反射面相对，光纤竖直放置，光纤位于光栅反射镜的上方，且光纤的输出端与光栅反射镜的反射面相对。该波导耦合器可使光纤和波导实现高效耦合，具有较大的对准容差。同时，本发明还公开了该波导耦合器的制备方法，该方法简单，且与MOS工艺兼容。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 阶梯 光栅 反射 波导 耦合器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种具有阶梯光栅反射镜的波导耦合器，其特征在于，该波导耦合器包括衬底（1）、缓冲层（2）、波导（3）、锥形波导（4）、光栅反射镜（5）和光纤（6），光栅反射镜（5）的反射面设有阶梯光栅，缓冲层（2）固定连接在衬底（1）的顶面，波导（3）、锥形波导（4）和光栅反射镜（5）固定连接在缓冲层（2）的顶面，锥形波导（4）的高度等于波导（3）的高度，锥形波导（4）的纵截面呈锥形，锥形波导（4）的一端为窄端，锥形波导（4）的另一端为宽端，且锥形波导（4）的窄端与波导（3）的输入端固定连接，锥形波导（4）的宽端与光栅反射镜（5）的反射面相对，光纤（6）竖直放置，光纤（6）位于光栅反射镜（5）的上方，且光纤（6）的输出端与光栅反射镜（5）的反射面相对。
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