[发明专利]一种具有阶梯光栅反射镜的波导耦合器及其制备方法无效

专利信息
申请号: 201210574567.0 申请日: 2012-12-26
公开(公告)号: CN103033877A 公开(公告)日: 2013-04-10
发明(设计)人: 孙小菡;蒋卫锋;柏宁丰;刘旭;吴晨 申请(专利权)人: 东南大学
主分类号: G02B6/122 分类号: G02B6/122;G02B6/13;G02B6/136;G02B6/24
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 柏尚春
地址: 211189 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种具有阶梯光栅反射镜的波导耦合器,包括衬底、缓冲层、波导、锥形波导、光栅反射镜和光纤,光栅反射镜的反射面设有阶梯光栅,缓冲层固定连接在衬底的顶面,波导、锥形波导和光栅反射镜固定连接在缓冲层的顶面,锥形波导的高度等于波导的高度,锥形波导的一端为窄端,锥形波导的另一端为宽端,且锥形波导的窄端与波导的输入端固定连接,锥形波导的宽端与光栅反射镜的反射面相对,光纤竖直放置,光纤位于光栅反射镜的上方,且光纤的输出端与光栅反射镜的反射面相对。该波导耦合器可使光纤和波导实现高效耦合,具有较大的对准容差。同时,本发明还公开了该波导耦合器的制备方法,该方法简单,且与MOS工艺兼容。
搜索关键词: 一种 具有 阶梯 光栅 反射 波导 耦合器 及其 制备 方法
【主权项】:
一种具有阶梯光栅反射镜的波导耦合器,其特征在于,该波导耦合器包括衬底(1)、缓冲层(2)、波导(3)、锥形波导(4)、光栅反射镜(5)和光纤(6),光栅反射镜(5)的反射面设有阶梯光栅,缓冲层(2)固定连接在衬底(1)的顶面,波导(3)、锥形波导(4)和光栅反射镜(5)固定连接在缓冲层(2)的顶面,锥形波导(4)的高度等于波导(3)的高度,锥形波导(4)的纵截面呈锥形,锥形波导(4)的一端为窄端,锥形波导(4)的另一端为宽端,且锥形波导(4)的窄端与波导(3)的输入端固定连接,锥形波导(4)的宽端与光栅反射镜(5)的反射面相对,光纤(6)竖直放置,光纤(6)位于光栅反射镜(5)的上方,且光纤(6)的输出端与光栅反射镜(5)的反射面相对。
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