[发明专利]温差电致冷组件表面三防膜的固封方法在审
申请号: | 201210575244.3 | 申请日: | 2012-12-24 |
公开(公告)号: | CN103031539A | 公开(公告)日: | 2013-04-10 |
发明(设计)人: | 安晓雨;马洪奎;梁亮 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十八研究所 |
主分类号: | C23C16/448 | 分类号: | C23C16/448;C23C16/52 |
代理公司: | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 | 代理人: | 李凤 |
地址: | 300384 天津*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明涉及一种温差电致冷组件表面三防膜的固封方法,步骤包括:将清洗后温差电致冷组件引线焊点粘结、塑封,挂于沉积装置的沉积室中,聚对二甲苯置于沉积装置的蒸发室中,聚对二甲苯经蒸发、裂解,沉积在温差电致冷组件表面,形成三防膜。本发明采用沉积技术在温差电致冷组件表面形成防霉菌、防潮湿、防盐雾的聚对二甲苯三防膜,不但抗腐蚀能力强,耐辐射性能好,防水、防尘效果好,而且绝缘性能及与温差电致冷组件的附着性能很强,经对温差电致冷组件进行振动、冲击、加速度等力学试验,温差电致冷组件表面对的三防膜不受影响,耐温度冲击能力强,高温和恶劣环境不会造成三防膜的剥离,保证焊点不脱落,延长了温差电致冷组件的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 温差 致冷 组件 表面 三防膜 方法 | ||
【主权项】:
温差电致冷组件表面三防膜的固封方法,包括对清洗后的温差电致冷组件进行表面三防膜的固封,其特征在于:所述三防膜的固封包括以下步骤:⑴对温差电致冷组件的引线焊点密封粘结胶带,将塑料套管热缩在胶带上;⑵将步骤⑴完成的温差电致冷组件悬挂在沉积装置的沉积室中,所述沉积装置包括控制系统、蒸发室、裂解室、沉积室和真空系统;⑶将聚对二甲苯置于沉积装置的蒸发室中后,由真空系统对蒸发室、裂解室和沉积室均抽真空至10‑2‑10‑3Pa,将蒸发室的温度控制为150‑200℃、裂解室温度控制为650‑700℃,蒸发室中的聚对二甲苯形成气态聚对二甲苯进入裂解室,在裂解室中裂解为活性单体,活性单体进入室温的沉积室中在悬挂的温差电致冷组件表面沉积1‑5h,温差电致冷组件表面形成0.1‑100微米厚的聚对二甲苯膜作为三防膜;⑷沉积装置的蒸发室、裂解室和沉积室中充入惰性气体,沉积装置内外压力相当时,取出温差电致冷组件,去掉引线焊点上的塑料套管和胶带,完成本发明温差电致冷组件表面三防膜的固封过程。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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