[发明专利]基于铌酸锂长程表面等离子体波波导和微带天线的微波光波转换器

摘要

本发明涉及一种基于铌酸锂长程表面等离子体波波导和微带天线的微波光波转换器，由光波输入保偏光纤、光信号输出保偏光纤、电-光耦合枢纽和宽频带微带贴片单极天线组成，电-光耦合枢纽包括硅（Si）衬底，在硅（Si）衬底上键合有SiO2层、铝（Al）薄层和被上、下z-切铌酸锂（LiNbO3）包层限定的金条带组成的长程表面等离子体（LRSPP）波波导，在铌酸锂（LiNbO3）长程表面等离子体（LRSPP）波波导的顶部有T形Au电极，其中，Al薄层接地，T形Au电极和Al薄层构成耦合电极，T形Au电极与宽频带微带贴片单极天线直接连接。可在λ0＝1550nm工作波长实现频率最高可达40GHz的无线射频／微波信号的光波转换，具有频带宽（40GHz）、效率高、结构紧凑和便于集成等特点。

主权项

一种基于铌酸锂长程表面等离子体波波导和微带天线的微波光波转换器，其特征在于，由光波输入保偏光纤、光信号输出保偏光纤、电‑光耦合枢纽和宽频带微带贴片单极天线组成，可在λ0＝1550nm工作波长实现频率最高可达40GHz的无线射频／微波信号的微波‑光波转换；所述的电‑光耦合枢纽包括硅（Si）衬底，在硅（Si）衬底上键合有SiO2层、铝（Al）薄层和被上、下z‑切铌酸锂（LiNbO3）包层限定的金条带组成的长程表面等离子体（LRSPP）波波导，在铌酸锂（LiNbO3）长程表面等离子体（LRSPP）波波导的顶部有T形金（Au）电极，其中，Al电极接地，T形Au电极和Al电极构成耦合电极，而T形Au电极与宽频带微带贴片单极天线直接连接。