[发明专利]用于相变存储器的Ti-Ge-Te系列材料及其制备方法有效
申请号: | 201210575643.X | 申请日: | 2012-12-26 |
公开(公告)号: | CN103035841A | 公开(公告)日: | 2013-04-10 |
发明(设计)人: | 纪兴龙;吴良才;宋志棠;朱敏;饶峰;封松林 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;C23C14/34;C23C14/14 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 李仪萍 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: |
本发明提供一种用于相变存储器的Ti-Ge-Te系列材料及其制备方法,所述Ti-Ge-Te系列材料的化学式为:Ti1-x-yGexTey,其中0 | ||
搜索关键词: | 用于 相变 存储器 ti ge te 系列 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种用于相变存储器的Ti‑Ge‑Te系列材料,其特征在于,所述Ti‑Ge‑Te系列材料的化学式为:Ti1‑x‑yGexTey,其中0
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