[发明专利]MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法无效
申请号: | 201210578509.5 | 申请日: | 2012-12-27 |
公开(公告)号: | CN103078246A | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 方晓东;梁勖;王效顺;鲍健 | 申请(专利权)人: | 中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
主分类号: | H01S3/10 | 分类号: | H01S3/10;H01S3/104 |
代理公司: | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人: | 余成俊 |
地址: | 230031 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法,包括有第一放电腔MO腔和第二放电腔PA腔,每个放电腔内均安装有准分子激光放电头,分别采用两高压探头对两准分子激光放电头进行检测,获取两放电腔的放电高压信号,或采用光敏探头检测第一放电腔MO腔的光信号,采用高压探头检测第二放电腔PA腔的放电信号,并将两信号传输至同步控制器,同步控制器提取其中的上升沿,进行同步调整,实现MOPA双腔同步出光。本发明可以有效的实时获得准分子激光器的放电时序信号,结合准分子激光器专用的同步控制器,可以有效的对MOPA结构的双腔准分子激光器进行同步控制,达到所需的控制精度。 | ||
搜索关键词: | mopa 系统 准分子激光 同步 控制 中的 信号 获取 方法 | ||
【主权项】:
一种MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法,其特征在于:包括有第一放电腔MO腔和第二放电腔PA腔,每个放电腔内均安装有准分子激光放电头,分别采用两高压探头对两准分子激光放电头进行检测,获取两放电腔的放电高压信号,并将两放电高压信号传输至同步控制器,同步控制器提取其中的上升沿,进行同步调整,实现 MOPA双腔同步出光。
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