[发明专利]照明装置、照明方法以及检查装置无效
| 申请号： | 201210578830.3 | 申请日： | 2012-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103185726A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 林义典;井筒纪;关胜利;若叶博之;小野洋子;权藤隆德;泷泽明彦 | 申请（专利权）人： | 芝浦机械电子装置股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;龚晓娟 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种照明装置、照明方法以及检查装置，即便使用了对于设定光量的切换的响应性比较差的照明单元，也能够在设定光量的切换时以比较短的时间使照明光量成为目标光量。该照明装置具有：第1照明单元（30），其以与设定光量对应的照明光量对被照明体进行照明；第2照明单元（43），其对于设定光量的切换的响应性优于所述第1照明单元（30），并以与来自第1照明单元（30）的照明光进行了叠加的照明光对所述被照明体进行照明；以及照明控制单元（60），其将第1照明单元（30）的照明光量维持在预定量，同时，通过按照控制信息进行的设定光量的切换，控制第2照明单元（43）的照明光量。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 装置 方法 以及 检查 | ||
【主权项】：
一种照明装置，其具有：第1照明单元，其以与设定光量对应的照明光量对被照明体进行照明；第2照明单元，其对于设定光量的切换的响应性优于所述第1照明单元，并以与来自所述第1照明单元的照明光进行了叠加的照明光对所述被照明体进行照明；以及照明控制单元，其将所述第1照明单元的照明光量维持在预定量，同时，通过按照控制信息进行的设定光量的切换，控制所述第2照明单元的照明光量。
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