[发明专利]检查装置及检查方法

摘要

一种检查装置及检查方法。即使是在达到目标光量所需时间较长的照明装置的照明光量达到目标光量之前开始检查，也能够进行精度优于过去的检查。检查装置对利用图像数据表示的被检查体的图像进行检查处理，该图像数据是通过拍摄被照明装置照明的被检查体而得到的，该检查装置构成为具有确定用于检查处理的处理信息的处理信息确定单元（S26、S29），该处理信息随着在照明装置的设定光量被从初始光量切换为目标光量时、来自照明装置的照明光量从初始光量到目标光量的时间性变化而变化，检查装置使用由处理信息确定单元根据从照明装置的设定光量被切换为目标光量时起的经过时间确定的处理信息进行检查处理（S27）。

主权项

一种检查装置，其具有：照明装置，其对被检查体进行照明；摄影单元，其对被该照明装置照明的所述被检查体进行拍摄并输出图像信号；以及处理单元，其根据来自该摄影单元的图像信号，生成表示所述被检查体的图像的图像数据，针对由该图像数据表示的所述被检查体的图像进行检查处理，所述处理单元具有确定在所述检查处理中使用的处理信息的处理信息确定单元，该处理信息随着在所述照明装置的设定光量从初始光量切换为目标光量时的、来自所述照明装置的照明光量从所述初始光量到所述目标光量的时间性变化而变化，所述处理单元使用由所述处理信息确定单元根据所述照明装置的设定光量从所述初始光量切换为所述目标光量时起的经过时间确定的处理信息进行所述检查处理。