[发明专利]用于集体制造仅包括经验证的PCB的3D电子模块的方法有效
申请号: | 201210579796.1 | 申请日: | 2012-12-27 |
公开(公告)号: | CN103187327B | 公开(公告)日: | 2017-06-09 |
发明(设计)人: | C·瓦尔 | 申请(专利权)人: | 3D加公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/56 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司11314 | 代理人: | 程伟,王锦阳 |
地址: | 法国伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于集体制造仅包括经验证的PCB的3D电子模块的方法。本发明涉及用于集体制造3D电子模块的方法,该方法包括‑制造包括经验证的有源部件的重建晶圆的层叠,该层叠包括重新分布层,‑制造经验证的无源印刷电路的板,包括以下子步骤○制造印刷电路的板,○对每个印刷电路进行电测试,○将经验证的印刷电路安装至胶粘基板,○在电绝缘树脂中浇铸所安装的电路,被称为涂布树脂和树脂的聚合,○移除胶粘基板,板仅包括由此获得的经验证的印刷电路,‑将板与(重建晶圆的)层叠结合的步骤,‑切割“板的层叠”组件的步骤,以获得3D电子模块。 | ||
搜索关键词: | 用于 集体 制造 包括 经验 pcb 电子 模块 方法 | ||
【主权项】:
一种用于集体制造3D电子模块的方法,该方法包括:‑制造N个重建晶圆的层叠(100)的步骤,其中,N≥1,重建晶圆被称为KGRW,每个重建晶圆仅包括在电测试后经验证的相同图层,一个图层包括至少一个有源和/或无源硅部件(11),至少一个重建晶圆包括有源部件,所述层叠(100)包括具有最多4个互连层的重新分布层(30),其特征在于,该方法包括:‑制造仅包括包括至少6个互连层并在测试后经验证的无源印刷电路(200)的相同的无源印刷电路的板的步骤,该步骤包括以下子步骤:○制造相同的印刷电路(200)的板,○对每个印刷电路(200)进行电测试,○将在所述测试后经验证的印刷电路安装至胶粘基板(8’),○在环氧类型的电绝缘树脂(6)中浇铸所安装的电路,被称为涂布树脂和树脂的聚合,○移除胶粘基板(8’),由此在该步骤之后获得仅包括经验证的印刷电路(200)的被称为KGRP的板的板,‑将KGRP的板与KGRW的层叠(100)结合的步骤,以形成“KGRW的层叠‑KGRP板”组件,‑沿着切割线(9)切割“KGRW的层叠‑KGRP板”组件,以获得3D电子模块。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造