[发明专利]测长装置直交度补偿方法及使用该方法的测长装置有效
| 申请号： | 201210580354.9 | 申请日： | 2012-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103075970A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 林勇佑 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/03 | 分类号： | G01B11/03 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种测长装置直交度补偿方法及使用该方法的测长装置，所述方法包括以下步骤：步骤1、提供测量机台及数个对位标记，所述测量机台包括机架、安装于机架上的矩形测量平台、设于测量平台上方的测定显微镜及安装于机架上且连接测定显微镜的激光器；步骤2、将对位标记安装于测量平台上，并记录该些对位标记对应测量平台坐标系的坐标，以作为参考坐标值；步骤3、通过测定显微镜读取该些对位标记对应测量平台坐标系的实际坐标值，并将该实际坐标值与参考坐标值进行对比；步骤4、如果实际坐标值与参考坐标值之间存在偏差，补正该实际坐标值，使得该实际坐标值等于参考坐标值。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 直交度 补偿 方法 使用 | ||
【主权项】：
一种测长装置直交度补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、提供测量机台及数个对位标记，所述测量机台包括机架、安装于机架上的矩形测量平台、设于测量平台上方的测定显微镜及安装于机架上且连接测定显微镜的激光器；步骤2、将对位标记安装于测量平台上，并记录该些对位标记对应测量平台坐标系的坐标，以作为参考坐标值；步骤3、通过测定显微镜读取该些对位标记对应测量平台坐标系的实际坐标值，并将该实际坐标值与参考坐标值进行对比；步骤4、如果实际坐标值与参考坐标值之间存在偏差，补正该实际坐标值，使得该实际坐标值等于参考坐标值。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司，未经深圳市华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210580354.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
