[发明专利]新型硅片研磨液的搅拌装置无效
| 申请号： | 201210580934.8 | 申请日： | 2012-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103055753A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 聂金根 | 申请（专利权）人： | 镇江市港南电子有限公司 |
| 主分类号： | B01F15/00 | 分类号： | B01F15/00 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212132 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型硅片研磨液的搅拌装置，包括搅拌轴、搅拌叶，所述搅拌叶垂直的固定在所述搅拌轴的下端，所述搅拌叶包括连接部分，所述连接部分的边缘均匀设有圆弧凸面，每个所述圆弧凸面上设有相应的搅拌片，所述搅拌片与所述圆弧凸面垂直连接，由于所述搅拌叶包括连接部分，所述连接部分的边缘均匀设有圆弧凸面，每个所述圆弧凸面上设有相应的搅拌片，所述搅拌片与所述圆弧凸面垂直连接，搅拌时，通过搅拌片边缘的圆弧凸面与搅拌片进行搅拌，形成纵向与横向搅拌，不仅增加了搅拌面积，且改变颗粒物的流向，从而，使研磨液内的颗粒物分散更加均匀，大大提高了硅片的切割质量。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 硅片 研磨 搅拌 装置 | ||
【主权项】：
新型硅片研磨液的搅拌装置，包括搅拌轴、搅拌叶，所述搅拌叶垂直的固定在所述搅拌轴的下端，其特征在于，所述搅拌叶包括连接部分，所述连接部分的边缘均匀设有圆弧凸面，每个所述圆弧凸面上设有相应的搅拌片，所述搅拌片与所述圆弧凸面垂直连接。
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