[发明专利]悬臂梁电容式微机械微波功率传感器的相位检测装置及方法有效
| 申请号： | 201210581483.X | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103076504A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 廖小平;崔焱 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R29/08 | 分类号： | G01R29/08 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210033 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 基于悬臂梁电容式微机械微波功率传感器的微波相位检测装置及方法，该装置包括悬臂梁电容式微机械微波功率传感器（15）可调数字式移相器（8）、功率合成器（12）、电容-数字转换器（18）；在悬臂梁电容式微机械微波功率传感器（15）中，电容-数字转换器的测试端口一（16）、电容-数字转换器的测试端口二（17）分别接电容-数字转换器（18），悬臂梁电容式微机械微波功率传感器的输入端口（14）接功率合成器的输出端口（13）；在功率合成器（12）中，功率合成器的输入端口一（10）接参考微波信号Vref，功率合成器的输入端口二（11）接可调数字式移相器的输出端口（9），可调数字式移相器的输入端口（7）接待测信号Vx。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂梁 电容 式微 机械 微波 功率 传感器 相位 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基于悬臂梁电容式微机械微波功率传感器的微波相位检测装置，其特征在于该装置包括悬臂梁电容式微机械微波功率传感器（15）可调数字式移相器（8）、功率合成器（12）、电容‑数字转换器（18）；在悬臂梁电容式微机械微波功率传感器（15）中，电容‑数字转换器的测试端口一（16）、电容‑数字转换器的测试端口二（17）分别接电容‑数字转换器（18），悬臂梁电容式微机械微波功率传感器的输入端口（14）接功率合成器的输出端口（13）；在功率合成器（12）中，功率合成器的输入端口一（10）接参考微波信号Vref，功率合成器的输入端口二（11）接可调数字式移相器的输出端口（9），可调数字式移相器的输入端口（7）接待测信号Vx。
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