[发明专利]一种三维激光清洗装置

摘要

本发明公开了一种激光三维清洗装置，包括含指示红光的脉冲激光器及其控制系统、扩束准直光学系统、二维光学扫描振镜及其控制器、聚焦位置调节器、位移控制器，其中聚焦位置调节器包含聚焦透镜、滤波器、显微成像透镜、CCD和处理器，所述聚焦透镜和显微成像透镜固定在一起，激光器自带指示红光在样品上的反射光成像于CCD，显微成像透镜前后移动，寻找到对比度最高边缘最清晰的位置，即为聚焦透镜焦点位置，聚焦透镜和二维扫描振镜一起构成三维清洗装置。本发明装置充分利用了现有的基于光学振镜扫描系统的二维激光清洗设备，且清洗前无需事先设定清洗材料表面形状，应用范围广，具有结构简单、稳定性好、易于调试等优点。

主权项

一种激光三维清洗装置，包括脉冲激光器及控制系统(1)、扩束准直光学系统(2)、第一扫描振镜(4)、第一扫描振镜控制器(5)、第二扫描振镜(6)、第二扫描振镜控制器(7)、聚焦透镜(8)、聚焦位置调节器(9)和位移控制器(10)，其中聚焦位置调节器(9)包含滤波器(13)、显微成像透镜(14)、 CCD(15)和处理器(16)；其特征在于，所述第一扫描振镜(4)和第一扫描振镜控制器(5)控制激光束x方向移动，所述第二扫描振镜(6)和第二扫描振镜控制器(7)控制激光束y方向移动，所述第一扫描振镜(4)和第二扫描振镜(6)组成二维扫描振镜，所述聚焦透镜(8)控制激光束z方向移动，聚焦透镜中心轴与二维扫描振镜中心轴重合；所述脉冲激光器及控制系统(1)带有指示红光，所述聚焦透镜(8)固定在聚焦调节器（9）上，且所述聚焦透镜（8）和显微成像透镜(14)相对位置固定，所述位移控制器控制聚焦调节器（9）沿z方向移动。