[发明专利]二维位移测量的装置

摘要

二维位移测量装置，涉及一种基于微光学元件的二维位移测量装置，解决现有二维位移测量中，需要两套独立测量系统，导致体积较大的问题，包括：激光器，扩束镜，反射镜，半反半透镜，二维测量光栅，二维位移平台，聚焦透镜和二维面阵探测器。激光器发出的激光通过扩束镜和反射镜以后平行的入射到半反半透镜上。透射光经过聚焦透镜聚焦在二维测量光栅上。光束在二维测量光栅上发生衍射，衍射光通过半反半透镜和反射镜以后平行入射到聚焦透镜上，最终在二维面阵探测器上成像。本发明所述的装置在测量过程中测量准确方便，并减少了装置的体积。

主权项

二维位移测量的装置，该装置包括激光器（1）、扩束镜（2）、第一反射镜（3）、半反半透镜（4）、第一聚焦透镜（5）、二维测量光栅（6）、二维位移平台（7）、第二反射镜（8）、第二聚焦透镜（9）和二维面阵探测器（10），其特征在于：激光器（1）发出的激光光束经扩束镜（2）和第一反射镜（3）后平行入射到半反半透镜（4），透射光束经聚第一焦透镜（5）聚焦在二维测量光栅（6）并发生衍射，衍射光束经半反半透镜（4）和第二反射镜（8）后平行入射到第二聚焦透镜（9）上，最终在二维面阵探测器（10）上成像。