[发明专利]一种柔性衬底

摘要

本发明提供的柔性衬底，包括聚合物基片以及设置在基片上的多个阻隔层，相邻阻隔层之间设置有平坦化层，平坦化层包括多个在第一方向和第二方向均相互分离的平坦化单元，第一方向和第二方向的夹角为0°~180°，平坦化层中平坦化单元在基片上的投影覆盖相邻平坦化层中平坦化单元在基片上的投影间的间隙，且投影区域部分重叠；这样相邻平坦化层能相互覆盖组成单元之间的缝隙位置，以阻挡水氧的横向穿透，确保柔性衬底能在大于平坦化单元的尺度范围内任意尺寸裁切，以实现柔性衬底的大规模生产，简化了工艺步骤，降低了生产成本。平坦化层中奇数层或偶数层的厚度分别在远离基片的方向上依次递减，保证柔性衬底的最顶面粗糙度低，适合有机光电器件的制备。

主权项

一种柔性衬底，包括聚合物基片以及设置在基片上的多个阻隔层，所述相邻阻隔层之间设置有平坦化层，其特征在于，所述平坦化层包括多个在第一方向和第二方向均相互分离的平坦化单元，所述平坦化层中所述平坦化单元在所述基片上的投影覆盖相邻所述平坦化层中相邻所述平坦化单元在所述基片上的投影的间隙，且所述投影区域部分重叠；所述平坦化层中奇数层或偶数层的厚度分别在远离所述基片的方向上依次递减；所述第一方向和所述第二方向的夹角大于0°且小于180°。