[发明专利]微结构材料机械性能退化检测方法有效
| 申请号： | 201210585532.7 | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN103033552A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 黄钦文 | 申请（专利权）人： | 工业和信息化部电子第五研究所 |
| 主分类号： | G01N27/60 | 分类号： | G01N27/60 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 谢伟;曾旻辉 |
| 地址： | 510610 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微结构材料机械性能退化检测方法，包括以下步骤，保持环境温度不变，确定固定电极与移动电极之间的闭合电压；选取直流偏置电压，使得直流偏置电压小于闭合电压，并将该直流偏置电压施加于固定电极与移动电极之间，待移动电极在静电力的作用下达到平衡后，监控测量移动电极在平面内的运动位移。本发明微结构材料机械性能退化检测方法测量精度高、测量效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 微结构 材料 机械性能 退化 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种微结构材料机械性能退化检测方法，其特征在于，包括以下步骤，保持环境温度不变，确定固定电极与移动电极之间的闭合电压；选取直流偏置电压，使得直流偏置电压小于闭合电压，并将该直流偏置电压施加于固定电极与移动电极之间，待移动电极在静电力的作用下达到平衡后，监控测量移动电极在平面内的运动位移。
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