[发明专利]智能型缺陷诊断方法

摘要

本发明提供一种智能型缺陷诊断方法，其使用于一制造工厂，该方法包括：接收至少一缺陷检测仪器所产生的多个缺陷数据，接收一轮廓设计系统产生的多个设计布局图，以及接收该制造工厂所产生的多个制造数据；通过一缺陷分析系统分析该缺陷数据、设计布局图及该制造数据。先分割完整晶片设计布局图成许多设计布局图单元，导入缺陷数据及图形比对分析成为以布局图图形群组(LPG)单元属性的缺陷复合式图形群组，并针对影像图形作影像处理测量及关键区域分析良率，诊断系统缺陷、制造方法缺陷、及缺陷良率。本发明可以快速地监控工厂生产状况，并针对缺陷良率作出正确的除错。

主权项

一种智能型缺陷诊断方法，其使用于一制造工厂，其特征在于，该方法包括：步骤A10：接收至少一缺陷检测仪器所产生的多个缺陷数据，接收一轮廓设计系统产生的多个设计布局图，以及接收该制造工厂所产生的多个制造数据；步骤B10：通过一缺陷分析系统分析该缺陷数据、设计布局图及该制造数据，其中，该分析步骤还进一步包括下列子步骤：步骤B101：先分割完整晶片设计布局图成许多设计布局图单元，再将同样图形的设计布局图归在一起，成为多个复合式图形群组单元，用以构成一布局图图形群组单元属性的图形群组；步骤B102：引入该缺陷数据；步骤B1025：将该缺陷的影像分割成多个缺陷及多个图形轮廓；步骤B103：将所述缺陷数据叠合至每一复合式图形群组单元，用以形成一布局图图形群组属性的缺陷复合式图形群组，以及辩识出高失败频率的缺陷布局图图形；步骤B1035：对影像图形轮廓与设计布局图施以坐标转换及图形比对重叠，用以校正其坐标；步骤B104：对该缺陷轮廓、图形轮廓或设计布局图多边图执行关键区域分析，用以得到一相对应的缺陷良率；步骤B105：通过缺陷影像分类分析而对该缺陷数据的缺陷种类区分类别。