[发明专利]一种晶圆Map显示模型及其使用方法

摘要

一种晶圆Map显示模型及其使用方法，先创建一动态链接库WaferMapDll，新建一基于CStatic的导出类CWaferMap，建立晶圆Map坐标模型，将每个晶粒视作一个点，为每个晶粒分配坐标；判断分配的坐标是否在晶圆范围，根据处于晶圆范围内的晶粒绘制出代表晶圆内晶粒的小方格，形成晶圆Map显示图；创建一用于保存晶粒信息且缩放后重绘晶粒测试情况的二进制文件，计算出每个晶粒的信息在该文件中存储地址，并将晶粒信息写入该文件；获取当前晶粒电机脉冲坐标，根据该电机脉冲坐标及晶圆中心电机脉冲坐标，计算当前晶粒的Map坐标，对Map图上显示的对应晶粒标记并存入二进制文件。本发明功能多，移植性强，灵活性高。

主权项

一种晶圆Map显示模型，其特征在于，通过以下步骤创建：创建一动态链接库WaferMapDll，新建一基于CStatic的导出类CWaferMap，获取用于绘图的句柄HDC，建立晶圆Map坐标模型，将每个晶粒视作一个点，以中心晶粒的Map坐标为(0，0)为每个晶粒分配坐标；判断为每个晶粒分配的所述Map坐标是否处于晶圆范围内，并根据处于晶圆范围内的晶粒绘制出代表晶圆内晶粒的小方格，形成晶圆Map显示图；创建一用于保存晶粒信息且缩放后重绘晶粒的测试情况的二进制文件，计算每个晶粒的信息在所述二进制文件中的存储地址，并将每个晶粒信息按计算出的所述存储地址写入在所述二进制文件中；当晶圆放置到测试台的承片台上后，获取当前晶粒的电机脉冲坐标，根据该当前晶粒的电机脉冲坐标及晶圆中心的电机脉冲坐标，计算出当前晶粒在晶圆Map显示图上的Map坐标，根据计算出的当前晶粒在晶圆Map显示图上的Map坐标，对Map显示图上显示的对应晶粒标记并存入上述二进制文件。