[发明专利]一种旋转装置和基于该旋转装置的单粒子测试系统有效
| 申请号： | 201210589804.0 | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN103095200A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 王德坤;谢朝辉;赵明琦;刘海南;周玉梅;黑勇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H02P8/14 | 分类号： | H02P8/14;G01R31/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种旋转装置和基于该旋转装置的单粒子测试系统，该旋转装置包括控制器、电机、以及分别与控制器和电机连接的驱动器，其中：控制器用于接收不同的第一控制请求，并依据第一控制请求向驱动器发送相应的第一控制指令；驱动器依据第一控制指令驱动电机转动或者停止；该电机转动或停止时，用于带动测试母板转动或停止，测试母板上设置多个测试子板，通过该旋转装置可以增加测试子板的个数和被测器件的数量，使得在进行单粒子效应模拟试验时，减少了更换被测器件的次数，解决现有技术中，由于每次测试的被测器件数量有限，需要频繁更换被测器件而使得操作繁琐的问题，且每次更换被测器件时进行抽真空操作浪费加速器资源的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 装置 基于 粒子 测试 系统 | ||
【主权项】：
一种旋转装置，其特征在于，包括控制器、电机、以及分别与所述控制器和所述电机连接的驱动器，其中：所述控制器用于获取不同的第一控制请求，并依据所述第一控制请求向所述驱动器发送相应的第一控制指令；所述驱动器依据所述第一控制指令驱动所述电机转动或者停止；所述电机转动或者停止时，用于带动测试母板转动或停止。
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