[发明专利]一种刀具表面Ti/TiN/MaN复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201210591057.4 | 申请日： | 2012-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103071819A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 赵海波;杜浩;梁雅庭;梁红樱;鲜广;王辉 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | B23B27/14 | 分类号： | B23B27/14;C23C14/16;C23C14/24;C23C14/35 |
| 代理公司： | 成都科海专利事务有限责任公司 51202 | 代理人： | 唐丽蓉 |
| 地址： | 610065 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开的刀具表面Ti/TiN/MaN复合涂层为三层，从刀具表面依次向外分别为Ti过渡层、TiN层和(Al，Ti，Cr)N层，其厚度分别为50～200nm或100～500nm或2～5μm，其组织结构为纳米晶结构，在X射线衍射的（111）面衍射强度I低于400，且该复合涂层表面的硬度为22～33GPa，压痕等级为1～2级。本发明还公开了其制备方法。由于本发明采用了等离子增强中频反应磁控溅射技术作为复合涂层的制备方法，因而不仅有利于各类反应物的溅射蒸发，使所得涂层组织细密、纯度高、表面平整，与刀具结合力高，耐磨性好，并可最大限度地抑制薄膜成分的偏析，大幅度改善了离化率及饶镀性，使其在不锈钢的切削加工中的寿命提高50～100%，且工艺简单，易于掌握控制，便于刀具涂层的工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刀具 表面 ti tin man 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种刀具表面Ti/TiN / MaN复合涂层，该复合涂层为三层，从刀具表面依次向外分别为Ti过渡层、TiN层和MaN层，其中Ti过渡层的厚度为50～200nm；TiN层的厚度为100～500nm； MaN层的厚度为2～5μm；其组织结构为纳米晶结构，在X射线衍射的（111）面衍射强度I低于400。
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