[发明专利]一种工艺角自动检测装置及方法有效
申请号: | 201210591270.5 | 申请日: | 2012-12-30 |
公开(公告)号: | CN103915358A | 公开(公告)日: | 2014-07-09 |
发明(设计)人: | 刘辉;傅璟军;冯卫 | 申请(专利权)人: | 比亚迪股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 张大威 |
地址: | 518118 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提出了一种工艺角自动检测装置及方法,该工艺角自动检测装置包括鉴相器、压控振荡器、环路分频器和自动判断纠正模块,鉴相器输入端输入的频率信号含有工艺角信息;自动判断纠正模块根据鉴相器输出的控制电压大小向压控振荡器输出不同的控制字;压控振荡器在控制字的控制下输出频带,频带的大小与控制字的大小一一对应;环路分频器将压控振荡器输出的频带信息反馈给鉴相器,调整鉴相器输出的控制电压大小,当鉴相器输出的控制电压大小满足阈值要求时,控制字的大小与工艺角的大小相关。本发明通过自动判断纠正模块输出控制字对多频带锁相环进行自动纠正,实现了工艺角的自动检测,满足了高精度模拟电路对工艺角偏差进行修正的需要。 | ||
搜索关键词: | 一种 工艺 自动检测 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种工艺角自动检测装置,其特征在于,包括:鉴相器、压控振荡器、环路分频器和自动判断纠正模块,所述鉴相器、压控振荡器和环路分频器构成锁相环,所述鉴相器的输入端分别与所述环路分频器的输出端和外部频率信号相连,所述外部频率信号含有工艺角信息;所述自动判断纠正模块的输入端与所述鉴相器的输出端相连,所述自动判断纠正模块根据所述鉴相器输出的控制电压大小向所述压控振荡器输出不同的控制字;所述压控振荡器的输入端分别与所述鉴相器的输出端和所述自动判断纠正模块的输出端相连,所述压控振荡器在所述控制字的控制下输出频带,所述频带的大小与所述控制字的大小一一对应;所述环路分频器的输入端与所述压控振荡器的输出端相连,所述环路分频器将所述压控振荡器输出的频带信息反馈给所述鉴相器,调整所述鉴相器输出的控制电压大小,当所述鉴相器输出的控制电压大小小于第一阈值电压且大于第二阈值电压时,根据所述自动判断纠正模块输出的控制字的大小所对应的频带大小获得所述工艺角的大小。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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