[发明专利]环抛阶段磨削量在线监测装置及磨削量在线监测方法

摘要

本发明公开了一种环抛阶段磨削量在线监测装置以及在线监测方法，包括白光光源[1]、准直镜[2]、起偏器[3]、普通分光镜[4]、宽光谱偏振分光棱镜[5]、色散补偿镜[6]、参考反射镜[7]，检偏器[8]、CCD[9]和显示屏[10]；方法为：a)标定磨削量在线监测装置；将磨削量在线装置中的白光光源换成波长已知的单色光LED，根据条纹间距以及显示屏[10]上标注的刻度尺上的读数确定条纹偏移量以及光程变化量之间的比例系数C，由该比例系数确定刻度尺上读出的白光条纹偏移量与实际磨削量的关系；b)实测磨削量：将磨削量在线装置中的单色光LED换成白光光源，旋转起偏器[3]调节测试光与参考光相对光强；环抛过程中监测白光中心条纹偏移量，直至磨削量达到要求为止。依据本发明所述装置以及所述方法可实现磨削量的在线监测。

主权项

一种环抛阶段磨削量在线监测装置，其特征在于：包括白光光源[1]、准直镜[2]、起偏器[3]、普通分光镜[4]、宽光谱偏振分光棱镜[5]、色散补偿镜[6]、参考反射镜[7]，检偏器[8]、CCD[9]和显示屏[10]；光路结构沿光路行进方向依次是光源[1]、准直镜[2]、起偏器[3]、普通分光镜[4]、宽光谱偏振分光棱镜[5]，之后光束分为两路：一路经过色散补偿镜[6]、参考反射镜[7]，为参考光；一路经过工件，为测试光，这两路光方向相互垂直；之后两束光原路返回，在宽光谱分光棱镜[5]出射合并回到普通分光镜[4]；普通分光镜[4]反射面所在平面与光路系统光轴成45°，从宽光谱偏振分光棱镜[5]出射的合成光在普通分光镜[4]反射面反射，之后一起从检偏器[8]透射而出，最后入射到CCD[9]；CCD[9]与显示屏[10]连接，输出干涉条纹。