[发明专利]探测系统及探测方法无效
| 申请号： | 201210592785.7 | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN103075978A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 丁海生;李东昇;马新刚;江忠永;张昊翔;王洋;李书文;李超 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰明芯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种探测系统，用于探测晶元的表面形貌，包括：激光发射系统，用于发出激光；分束合光系统，所述激光被所述分束合光系统分为第一光波和与之相干的第二光波，所述第一光波经所述晶圆反射后与所述第二光波被所述分束合光系统合成为合光；相移系统，用于改变所述第二光波的光程；接收系统，用于接收n个不同光程的所述第二光波下的所述合光，在每一光程的所述第二光波下，所述接收系统拍摄所述合光的干涉图样；处理系统，所述处理系统通过控制所述相移系统改变所述第二光波的光程，同时，接收所述干涉图样并进行处理后显示所述晶圆的形貌。本发明还揭示了一种探测方法，可以实时监控图形化蓝宝石的刻蚀过程，并能精确对其进行终点探测。 | ||
| 搜索关键词： | 探测 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种探测系统，用于探测晶圆的表面形貌，包括：激光发射系统，所述激光发射系统用于发出激光；分束合光系统，所述激光被所述分束合光系统分为第一光波和与之相干的第二光波，所述第一光波经所述晶圆反射后与所述第二光波被所述分束合光系统合成为合光；相移系统，用于改变所述第二光波的光程；接收系统，用于接收n个不同光程的所述第二光波下的所述合光，在每一光程的所述第二光波下，所述接收系统拍摄所述合光的干涉图样，n≥2；处理系统，所述处理系统通过控制所述相移系统改变所述第二光波的光程，同时，所述处理系统接收所述干涉图样并进行处理后显示所述晶圆的形貌信息。
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