[发明专利]一种激光加工纳米粉送粉管有效
| 申请号： | 201210593032.8 | 申请日： | 2012-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103014700A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 林学春;赵伟芳;侯玮;于海娟;李晋闽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C23C24/10 | 分类号： | C23C24/10;B23K26/34 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种激光加工纳米粉送粉管，在所述矩形结构的下部开设有凹槽结构，所述激光加工送粉管横截面呈一半圆和一半矩形的 |
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| 搜索关键词： | 一种 激光 加工 纳米 粉送粉管 | ||
【主权项】：
一种激光加工纳米粉送粉管，其包括载流气送粉管、汇聚气管；其中，所述载流气送粉管和汇聚气管同心设置。
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