[发明专利]一种电磨削多线切割进电方法及装置

摘要

本发明提供了一种电磨削多线切割进电方法及装置，属于半导体硅片切割加工领域，该发明涉及到特种加工、自动控制、电工电子等学科的交叉领域专业知识，是一种交叉学科的发明专利。加工方法是：在多线切割机床上通过金属切割线对加工工件进行磨削加工，在加工过程中，向切割区域喷射切削液，在磨削区域上施加电磁场，所述电磁场的磁力线方向与切割线的轴向运动方向相交。加工装置是：包括切割线、加工工件，其特征在于：还包括有一个磁场发生装置。本发明提供的电磨削多线切割进非接触式进电进电方法代替了电磨削多线切割的电气连接，简化了整个工艺系统的结构，通过电磁场的感应电流使加工工件产生钝化，有利于磨削加工的进行。

主权项

一种电磨削多线切割进电方法，包括下列步骤：在多线切割机床上通过切割线对加工工件进行磨削加工，在加工过程中，向切割区域喷射切削液，其特征在于：在磨削区域上施加电磁场，所述电磁场的磁力线方向与切割线的轴向运动方向相交；所述的切割线的材质是金属。