[发明专利]基于非接触式霍尔效应测量石墨烯载流子迁移率的方法有效
| 申请号： | 201210593927.1 | 申请日： | 2012-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103033734A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 韩砀;王东;宁静;闫景东;柴正;张进成;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 710065 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体技术领域，提供了基于非接触式霍尔效应测量石墨烯载流子迁移率的方法，采用入射电磁波激发的方式，在石墨烯中引入感应电流和霍尔电流，通过测量霍尔电流辐射出的电磁波，并与入射电磁波相比较，得出石墨烯的迁移率，再改变激发电磁波的投射位置，进行多点测量，并通过比较不同位置石墨烯迁移率，可得到石墨烯是否具有良好的一致性，该方法采用非接触式电磁波测量石墨烯迁移率，节省了测量石墨烯迁移率的时间，避免了传统方法制作金属探针对石墨烯性质的影响，可判定大量制备石墨烯是否具有良好的一致性，实用性强，具有较强的推广与应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 接触 霍尔 效应 测量 石墨 载流子 迁移率 方法 | ||
【主权项】：
基于非接触式霍尔效应测量石墨烯载流子迁移率的方法，其特征在于，该方法采用入射电磁波激发的方式，在石墨烯中引入感应电流和霍尔电流，通过测量霍尔电流辐射出的电磁波，并与入射电磁波相比较，得出石墨烯的迁移率，再改变激发电磁波的投射位置，进行多点测量。
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