[发明专利]电子元件输送装置有效
| 申请号： | 201210594335.1 | 申请日： | 2012-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103057953A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 王振荣;刘红兵;张路 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子元件输送装置，其特征在于，电子元件输送装置，包括机架、用于夹持容器的夹持组件、升降组件以及移动组件，所述升降组件和移动组件安装在所述机架上，所述夹持组件运动地设置，所述升降组件驱动所述夹持组件上下运动，所述移动组件驱动所述夹持组件水平运动。本发明电子元件输送装置，既可以横向自由移动盛放晶圆的容器，又可以竖向自由移动容器，取代了传统的人工搬运晶圆，节省人力，提高晶圆的搬运效率；本发明电子元件输送装置可实现自动抓持或松开容器，抓持牢固，可以防止容易在运输过程中摔落而损坏晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 电子元件 输送 装置 | ||
【主权项】：
电子元件输送装置，其特征在于，包括机架、用于夹持容器的夹持组件、升降组件以及移动组件，所述升降组件和移动组件安装在所述机架上，所述夹持组件可运动地设置，所述升降组件驱动所述夹持组件上下运动，所述移动组件驱动所述夹持组件水平运动。
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