[发明专利]一种调焦调平检测装置有效
| 申请号： | 201210594380.7 | 申请日： | 2012-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103913953A | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 刁雷;陈飞彪 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01B13/12 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出一种调焦调平检测装置，用于放大倍率为1的光刻系统的调焦调平，包括光源系统，掩模板，掩模台，投影物镜，硅片，工件台等，其特征在于，还包括一气动差分测量传感器，所述气动差分测量传感器包括两组测量头，一组测量头测量掩模面位置，另一组测量头测量硅片面的位置，一气电转换器通过感测两组测量头测得的间距的不同而引起的气压值变化，转换为电信号经过信号处理后输送给整机控制系统，从而控制工件台的调整。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调焦 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种调焦调平检测装置，用于放大倍率为1的光刻系统的调焦调平，包括光源系统，掩模板，掩模台，投影物镜，硅片，工件台，其特征在于，还包括一气动差分测量传感器，所述气动差分测量传感器包括两组测量头，第一组测量头用于测量掩模面位置，第二组测量头用于测量硅片面位置，一气电转换传感器通过感测两组测量头测得的间距的不同而引起的气压值变化，将所述气压值变化值转换为电信号，经过信号处理后输送给整机控制系统，从而控制工件台的调整。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210594380.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
