[发明专利]面漆组合物和光刻法有效
申请号: | 201210595814.5 | 申请日: | 2012-11-07 |
公开(公告)号: | CN103087606A | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | D·王 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
主分类号: | C09D133/16 | 分类号: | C09D133/16;C09D133/14;G03F7/11;G03F7/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈哲锋 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 面漆组合物和光刻法。提供了一种用于浸没式光刻法的面漆组合物,所述面漆组合物包括:聚合物体系,所述聚合物体系包括基质聚合物和表面活性聚合物,其中在所述组合物中,基质聚合物具有与表面活性聚合物的重量比相比较高的重量比,并且其中该表面活性聚合物具有与基质聚合物的表面能相比较低的表面能;和溶剂体系,所述溶剂体系包括选自γ-丁内酯和/或γ-戊内酯的第一有机溶剂和第二有机溶剂,其中该第一有机溶剂具有与该表面活性聚合物的表面能相比较高的表面能,并且该第一有机溶剂具有与第二有机溶剂的沸点相比较高的沸点。 | ||
搜索关键词: | 组合 光刻 | ||
【主权项】:
一种用于浸没式光刻法的面漆组合物,所述面漆组合物包括:聚合物体系,所述聚合物体系包括基质聚合物和表面活性聚合物,其中在所述组合物中,基质聚合物具有与表面活性聚合物的重量比相比较高的重量比,并且其中该表面活性聚合物具有与基质聚合物的表面能相比较低的表面能;和溶剂体系,所述溶剂体系包括选自γ‑丁内酯和/或γ‑戊内酯的第一有机溶剂和第二有机溶剂,其中该第一有机溶剂具有与该表面活性聚合物的表面能相比较高的表面能,并且该第一有机溶剂具有与第二有机溶剂的沸点相比较高的沸点。
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C09 染料;涂料;抛光剂;天然树脂;黏合剂;其他类目不包含的组合物;其他类目不包含的材料的应用
C09D 涂料组合物,例如色漆、清漆或天然漆;填充浆料;化学涂料或油墨的去除剂;油墨;改正液;木材着色剂;用于着色或印刷的浆料或固体;原料为此的应用
C09D133-00 基于有1个或多个不饱和脂族基化合物的均聚物或共聚物的涂料组合物,其中每个不饱和脂族基只有1个碳-碳双键,并且至少有1个是仅以1个羧基或其盐、酐、酯、酰胺、酰亚胺或腈为终端;基于此种聚合物的衍生物的涂料
C09D133-02 .酸的均聚物或共聚物;其金属盐或铵盐
C09D133-04 .酯的均聚物或共聚物
C09D133-18 .腈的均聚物或共聚物
C09D133-24 .酰胺或酰亚胺的均聚物或共聚物
C09D133-26 ..丙烯酰胺或甲基丙烯酰胺的均聚物或共聚物
C09D 涂料组合物,例如色漆、清漆或天然漆;填充浆料;化学涂料或油墨的去除剂;油墨;改正液;木材着色剂;用于着色或印刷的浆料或固体;原料为此的应用
C09D133-00 基于有1个或多个不饱和脂族基化合物的均聚物或共聚物的涂料组合物,其中每个不饱和脂族基只有1个碳-碳双键,并且至少有1个是仅以1个羧基或其盐、酐、酯、酰胺、酰亚胺或腈为终端;基于此种聚合物的衍生物的涂料
C09D133-02 .酸的均聚物或共聚物;其金属盐或铵盐
C09D133-04 .酯的均聚物或共聚物
C09D133-18 .腈的均聚物或共聚物
C09D133-24 .酰胺或酰亚胺的均聚物或共聚物
C09D133-26 ..丙烯酰胺或甲基丙烯酰胺的均聚物或共聚物