[发明专利]作为用于光谱分析的电子束源的感应耦合等离子体源

摘要

本发明涉及作为用于光谱分析的电子束源的感应耦合等离子体源。一种具有用户可选择配置的单镜筒感应耦合等离子体源操作在用于FIB操作的离子模式或用于SEM操作的电子模式下。装备有x射线探测器，能量色散x射线光谱分析是可能的。用户能够选择性地配置ICP以在离子模式或FIB模式下制备样品，接着实质上扳动选择电子模式或SEM模式的开关并且使用EDS或其它类型的分析来分析样品。

主权项

一种带电粒子束系统，包括：用于保持等离子体的等离子体室；用于偏置该等离子体至操作电压的偏置电极；能够向该偏置电极提供正电压或负电压的电源，其中该电源能够切换极性以从该等离子体室选择性地提取带正电或带负电粒子；用于从等离子体源提取带电粒子的提取器电极；能够向提取器电极提供正电压或负电压的提取器电极电源；用于聚焦从等离子体源所提取的带电粒子至工件上的聚焦镜筒，其中该聚焦镜筒可在第一模式中操作，在该第一模式中该聚焦镜筒聚焦带正电粒子至该工件上，并且该聚焦镜筒可在第二模式中操作，在该第二模式中该聚焦镜筒聚焦带负电粒子至该工件上；以及用于探测x射线的x射线探测器，所述x射线由从等离子体室所提取的电子的冲击产生并通过聚焦镜筒而聚焦至工件上。